一種用于硅片生產(chǎn)的裝片機(jī)

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201810047453.8 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)（公告）號(hào) CN110060938A 公開(kāi)（公告）日 2019-07-26
申請(qǐng)公布號(hào) CN110060938A 申請(qǐng)公布日 2019-07-26
分類號(hào) H01L21/67;H01L21/677;H01L31/18 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 張志康;何海濤;孫文璐 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 江西寶群電子科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) - 代理人 -
地址 330000 江西省南昌市高新技術(shù)產(chǎn)業(yè)開(kāi)發(fā)區(qū)高新七路192號(hào)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明涉及一種用于硅片生產(chǎn)的裝片機(jī)。在分離以及傳輸?shù)恼麄€(gè)過(guò)程中，會(huì)使硅片與異物接觸，這也就能使硅片受損，增加了成本。還有缺少監(jiān)測(cè)的功能，而且還不能夠與其他設(shè)備實(shí)現(xiàn)連接。本發(fā)明涉及一種用于硅片生產(chǎn)的裝片機(jī)，其中：彈夾輸送模組、分片機(jī)械手、分片機(jī)構(gòu)、輸送模組、整形模組、插片機(jī)械手、空籃回流模組、翻轉(zhuǎn)模組、移栽模組均安裝于裝片機(jī)機(jī)架上，彈夾輸送模組與輸送模組之間設(shè)有分片機(jī)構(gòu)。本裝置采用特殊結(jié)構(gòu)的硅片裝片機(jī)構(gòu)實(shí)現(xiàn)對(duì)硅片的分片以及裝片的過(guò)程，裝片機(jī)構(gòu)高度自動(dòng)化使分片更加快速，保證硅片快速分片，快速準(zhǔn)確，并且能減少對(duì)硅片的損傷，最大程度保證硅片的完整性，增加了效益，減少較少了成本。