一種用于超大尺寸長等徑鈮酸鋰生長的裝置和方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202110804218.2 申請日 -
公開（公告）號 CN113373518A 公開（公告）日 2021-09-10
申請公布號 CN113373518A 申請公布日 2021-09-10
分類號 C30B29/30（2006.01）I;C30B15/00（2006.01）I 分類 晶體生長〔3〕;
發(fā)明人 孫德輝;王蒙;韓文斌;劉宏 申請（專利權(quán)）人 山東恒元半導體科技有限公司
代理機構(gòu) 濟南譽豐專利代理事務(wù)所（普通合伙企業(yè)） 代理人 薛鵬喜
地址 271199 山東省濟南市萊蕪高新技術(shù)產(chǎn)業(yè)區(qū)匯源大街67號高創(chuàng)中心1423-a01
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種用于超大尺寸長等徑鈮酸鋰生長的裝置和方法，所述裝置包括生長裝置與加料裝置；生長裝置包括第一坩堝及第一保溫層；第一保溫層和第一坩堝之間設(shè)有生長加熱器；第一坩堝上方設(shè)有可旋轉(zhuǎn)升降的籽晶桿，籽晶桿貫穿第一保溫層的頂部；加料裝置包括第二坩堝及第二保溫層，第二坩堝與第二保溫層之間設(shè)有化料加熱器；第二坩堝的上方設(shè)有加料管，加料管穿過第二保溫層；第一坩堝的底部通過輸料管與第二坩堝的底部連通；輸料管的外壁上設(shè)有輸料加熱器。本發(fā)明采用化料與生長相分離的方法，通過輸料管的熱量帶入生長區(qū)熔體中心使得生長區(qū)域溫度更均勻，以及及時補充原料的方法，避免了生長界面過冷導致的大尺寸鈮酸鋰晶體拖尾現(xiàn)象。