一種半導(dǎo)體襯底清洗裝置
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN202020839585.7 | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開(kāi)（公告）號(hào) | CN213529815U | 公開(kāi)（公告）日 | 2021-06-25 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN213529815U | 申請(qǐng)公布日 | 2021-06-25 |
| 分類(lèi)號(hào) | B08B3/02（2006.01）I;H01L21/67（2006.01）I | 分類(lèi) | 清潔; |
| 發(fā)明人 | 不公告發(fā)明人 | 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人 | 柳州臻驅(qū)電控科技有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 杭州知管通專(zhuān)利代理事務(wù)所（普通合伙） | 代理人 | 黃華 |
| 地址 | 545000廣西壯族自治區(qū)柳州市雞喇路16號(hào)青山廠(chǎng)內(nèi) | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本實(shí)用新型公開(kāi)了一種半導(dǎo)體襯底清洗裝置，本實(shí)用新型涉及清洗裝置技術(shù)領(lǐng)域，半導(dǎo)體襯底清洗裝置，包括上箱體、下箱體、電磁閥以及夾具，下箱體固定連接在上箱體正下方，且電磁閥位于上箱體右側(cè)，夾具位于上箱體內(nèi)部中間，上箱體呈中空狀，且上箱體內(nèi)部底面中間開(kāi)有滑槽，滑槽朝前延伸至上箱體前側(cè)，且上箱體左右內(nèi)壁螺紋連接有至少十個(gè)對(duì)稱(chēng)排布的霧化噴頭，霧化噴頭表面均勻分布有若干個(gè)噴孔，且上箱體內(nèi)部底面開(kāi)有若干個(gè)通孔；本實(shí)用新型的有益效果在于：通過(guò)滑槽移動(dòng)夾具便于襯底的拆卸和安裝，通過(guò)霧化噴頭使得襯底清洗徹底且避免損壞，使用腳踏開(kāi)關(guān)控制電磁閥使得操作簡(jiǎn)單，出液量方便人為控制。 |
