電子級氫氟酸制造系統(tǒng)及制造電子級氫氟酸的方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202010660885.3 申請日 -
公開（公告）號 CN113620252B 公開（公告）日 2022-05-06
申請公布號 CN113620252B 申請公布日 2022-05-06
分類號 C01B7/19（2006.01）I 分類 無機化學;
發(fā)明人 陳義平 申請（專利權(quán)）人 上翔電子化學材料工程股份有限公司
代理機構(gòu) 中科專利商標代理有限責任公司 代理人 吳夢圓
地址 中國香港九龍尖沙咀柯士甸道29號11樓1102室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 一種電子級氫氟酸制造系統(tǒng)及制造電子級氫氟酸的方法，通過控制無水氫氟酸的沸點及冷凝溫度，經(jīng)過多段的氣化、冷凝，使該無水氫氟酸中的雜質(zhì)得以去除，之后再將氣態(tài)氫氟酸過濾、吸收、冷卻，以取得電子級氫氟酸產(chǎn)品。