電子級(jí)氫氟酸制造系統(tǒng)及制造電子級(jí)氫氟酸的方法

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202010660885.3 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN113620252A 公開（公告）日 2021-11-09
申請(qǐng)公布號(hào) CN113620252A 申請(qǐng)公布日 2021-11-09
分類號(hào) C01B7/19（2006.01）I 分類 無機(jī)化學(xué);
發(fā)明人 陳義平 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 上翔電子化學(xué)材料工程股份有限公司
代理機(jī)構(gòu) 中科專利商標(biāo)代理有限責(zé)任公司 代理人 吳夢(mèng)圓
地址 中國(guó)香港九龍尖沙咀柯士甸道29號(hào)11樓1102室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 一種電子級(jí)氫氟酸制造系統(tǒng)及制造電子級(jí)氫氟酸的方法，通過控制無水氫氟酸的沸點(diǎn)及冷凝溫度，經(jīng)過多段的氣化、冷凝，使該無水氫氟酸中的雜質(zhì)得以去除，之后再將氣態(tài)氫氟酸過濾、吸收、冷卻，以取得電子級(jí)氫氟酸產(chǎn)品。