一種半自動晶圓貼膜機

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201720122659.3 申請日 -
公開(公告)號 CN206520790U 公開(公告)日 2017-09-26
申請公布號 CN206520790U 申請公布日 2017-09-26
分類號 B65B33/02(2006.01)I 分類 輸送;包裝;貯存;搬運薄的或細絲狀材料;
發(fā)明人 那洪亮;韓開宇 申請(專利權)人 中山市東翔微電子有限公司
代理機構 - 代理人 -
地址 528437 廣東省中山市火炬開發(fā)區(qū)益圍路16號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 一種半自動晶圓貼膜機,包括玻璃導軌柱、圓形玻璃、安裝柱、鐵環(huán)、支撐柱、溫控開關、真空開關、主體、真空器、溫控器、卷軸、上蓋板、劃刀和晶圓臺,所述安裝柱設置在主體后側邊緣,所述卷軸橫向設置在安裝柱上,所述上蓋板通過轉軸設置在安裝柱上,上蓋板中間位置背面?zhèn)仍O置有圓形玻璃,所述圓形玻璃上設置有可推動圓形玻璃轉圈的帶把手劃刀,所述主體上設置有晶圓臺及鐵環(huán),所述晶圓臺上表面高于主體上表面,所述鐵環(huán)上表面高于晶圓臺上表面,所述主體前側邊緣設置有用于支撐上蓋板往下蓋合時的支撐柱,所述主體內部設置有真空器和溫控器。本實用新型具有貼膜精準、無氣泡的有點,一個人即可完成,貼膜效果和質量良好。