一種半自動晶圓貼膜機
基本信息
申請?zhí)?/td> | CN201720122659.3 | 申請日 | - |
公開(公告)號 | CN206520790U | 公開(公告)日 | 2017-09-26 |
申請公布號 | CN206520790U | 申請公布日 | 2017-09-26 |
分類號 | B65B33/02(2006.01)I | 分類 | 輸送;包裝;貯存;搬運薄的或細絲狀材料; |
發(fā)明人 | 那洪亮;韓開宇 | 申請(專利權)人 | 中山市東翔微電子有限公司 |
代理機構 | - | 代理人 | - |
地址 | 528437 廣東省中山市火炬開發(fā)區(qū)益圍路16號 | ||
法律狀態(tài) | - |
摘要
摘要 | 一種半自動晶圓貼膜機,包括玻璃導軌柱、圓形玻璃、安裝柱、鐵環(huán)、支撐柱、溫控開關、真空開關、主體、真空器、溫控器、卷軸、上蓋板、劃刀和晶圓臺,所述安裝柱設置在主體后側邊緣,所述卷軸橫向設置在安裝柱上,所述上蓋板通過轉軸設置在安裝柱上,上蓋板中間位置背面?zhèn)仍O置有圓形玻璃,所述圓形玻璃上設置有可推動圓形玻璃轉圈的帶把手劃刀,所述主體上設置有晶圓臺及鐵環(huán),所述晶圓臺上表面高于主體上表面,所述鐵環(huán)上表面高于晶圓臺上表面,所述主體前側邊緣設置有用于支撐上蓋板往下蓋合時的支撐柱,所述主體內部設置有真空器和溫控器。本實用新型具有貼膜精準、無氣泡的有點,一個人即可完成,貼膜效果和質量良好。 |
