一種基于射頻電源的阻抗調(diào)節(jié)方法及射頻電源系統(tǒng)

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201910843137.6 申請日 -
公開（公告）號 CN110473764A 公開（公告）日 2019-11-19
申請公布號 CN110473764A 申請公布日 2019-11-19
分類號 H01J37/32（2006.01）I; H01J37/248（2006.01）I 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 林偉群; 樂衛(wèi)平; 張桂東; 唐亞海; 林桂浩 申請（專利權(quán)）人 深圳市百世達(dá)半導(dǎo)體設(shè)備有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京集佳知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 深圳市百世達(dá)半導(dǎo)體設(shè)備有限公司
地址 518000 廣東省深圳市寶安區(qū)西鄉(xiāng)街道鐵崗社區(qū)桃花源智創(chuàng)小鎮(zhèn)功能配套區(qū)B棟101，201，301
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種基于射頻電源的阻抗調(diào)節(jié)方法，利用射頻電源的頻率對匹配箱中的匹配網(wǎng)絡(luò)的阻抗影響，具體地，射頻電源的頻率發(fā)生改變時，匹配網(wǎng)絡(luò)中的電容和電感的阻抗也會發(fā)生變化，從而實(shí)現(xiàn)對匹配箱的阻抗的調(diào)整。此外，調(diào)節(jié)是否成功通過駐波比來進(jìn)行判斷，在駐波比小于預(yù)設(shè)匹配閾值時，則說明此時等離子體腔室與匹配箱的阻抗之和與射頻電源的阻抗相等。射頻電源的頻率調(diào)節(jié)速度快于匹配箱的機(jī)械調(diào)節(jié)速度，滿足阻抗隨時變化的等離體子負(fù)載，提高了阻抗匹配的速度及精度。本發(fā)明還公開了一種射頻電源系統(tǒng)，具有與上述阻抗調(diào)節(jié)方法相同的有益效果。