一種匹配箱的阻抗調(diào)節(jié)方法、裝置及射頻電源系統(tǒng)

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201910844116.6 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN110536534A 公開（公告）日 2019-12-03
申請(qǐng)公布號(hào) CN110536534A 申請(qǐng)公布日 2019-12-03
分類號(hào) H05H1/46;H01J37/32 分類 其他類目不包含的電技術(shù);
發(fā)明人 林偉群;樂衛(wèi)平;張桂東;姚志毅 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 深圳市百世達(dá)半導(dǎo)體設(shè)備有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京集佳知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 深圳市百世達(dá)半導(dǎo)體設(shè)備有限公司
地址 518000 廣東省深圳市寶安區(qū)西鄉(xiāng)街道鐵崗社區(qū)桃花源智創(chuàng)小鎮(zhèn)功能配套區(qū)B棟101，201，301
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種匹配箱的阻抗調(diào)節(jié)方法、裝置及射頻電源系統(tǒng)，首先建立匹配箱的簡化模型，在建立簡化模型時(shí)，保留了匹配箱原本的兩個(gè)控制自由度，采用的是第二電感和第一電容構(gòu)成的第一支路和第三電感和及第二電容構(gòu)成的第二支路的形式，在確定簡化模型中的三個(gè)電感的電感值后，通過對(duì)第一電容和第二電容的距離的調(diào)節(jié)來調(diào)節(jié)匹配箱的阻抗，通過該種方式使得簡化模型能夠逼近匹配箱的實(shí)際電路結(jié)構(gòu)的功能，一方面，本申請(qǐng)中采用兩個(gè)支路，且支路均有電容和電感串聯(lián)連接構(gòu)成，可以配合調(diào)節(jié)，出現(xiàn)優(yōu)化方向錯(cuò)誤的概率極低，從而提高了阻抗調(diào)節(jié)的精度和可靠性；另一方面，簡化模型的參數(shù)少，計(jì)算量小，匹配速度快。