一種無掩膜光刻設(shè)備和無掩膜光刻方法

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202011374575.1 申請(qǐng)日 -
公開(公告)號(hào) CN112379577A 公開(公告)日 2021-02-19
申請(qǐng)公布號(hào) CN112379577A 申請(qǐng)公布日 2021-02-19
分類號(hào) G03F7/20(2006.01)I 分類 攝影術(shù);電影術(shù);利用了光波以外其他波的類似技術(shù);電記錄術(shù);全息攝影術(shù)〔4〕;
發(fā)明人 吳明倉(cāng) 申請(qǐng)(專利權(quán))人 廣東思沃激光科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 深圳中一聯(lián)合知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 李金偉
地址 523000廣東省東莞市松山湖高新技術(shù)產(chǎn)業(yè)開發(fā)區(qū)研發(fā)一路1號(hào)A棟2樓A區(qū)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本申請(qǐng)適用于無掩膜光刻技術(shù)領(lǐng)域,提供了一種無掩膜光刻設(shè)備和無掩膜光刻方法,無掩膜光刻設(shè)備包括用于產(chǎn)生面陣光的照明裝置、設(shè)置于照明裝置發(fā)出的面陣光的光路上的數(shù)字微鏡器件、用于承載待加工的基板的載物臺(tái)組件、設(shè)置于載物臺(tái)組件和數(shù)字微鏡器件之間的投影物鏡,以及電氣連接載物臺(tái)組件和數(shù)字微鏡器件的控制單元;數(shù)字微鏡器件具有多個(gè)縱橫排列的微反射鏡單元,微反射鏡單元反射的面陣光經(jīng)過投影物鏡后在基板上形成刻蝕光斑;各刻蝕光斑沿第一方向和與第一方向垂直的方向縱橫排列,且刻蝕光斑能夠沿第二方向掃描照射基板,第一方向和第二方向之間的夾角θ為銳角??刂茊卧刂莆⒎瓷溏R單元偏轉(zhuǎn),使得基板上的印制電路具有連續(xù)可變性。??