半導體薄膜太陽能電池的制造系統(tǒng)和方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201010149892.3 申請日 -
公開（公告）號 CN102024870A 公開（公告）日 2011-04-20
申請公布號 CN102024870A 申請公布日 2011-04-20
分類號 H01L31/18(2006.01)I 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 林朝暉;李曉常 申請（專利權）人 福建歐德生光電科技有限公司
代理機構 - 代理人 -
地址 362000 福建省泉州市鯉城區(qū)江南高新科技電子信息產業(yè)園區(qū)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種半導體薄膜太陽能電池的制造系統(tǒng)和方法，能夠在熱化學反應生成化合物薄膜的過程中提供連續(xù)、平穩(wěn)的熱化學變溫反應條件，特別適合于高量產、連續(xù)、穩(wěn)定可控地制造銅銦鎵硒多晶薄膜太陽能電池的吸收層。