一種化學(xué)機械拋光墊

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202123092169.9 申請日 -
公開（公告）號 CN216759447U 公開（公告）日 2022-06-17
申請公布號 CN216759447U 申請公布日 2022-06-17
分類號 B24B37/26（2012.01）I;B24B37/22（2012.01）I 分類 磨削；拋光;
發(fā)明人 袁黎光;肖亮鋒;王杰;劉健;石鑫;楊小牛 申請（專利權(quán)）人 廣東粵港澳大灣區(qū)黃埔材料研究院
代理機構(gòu) 廣州粵高專利商標(biāo)代理有限公司 代理人 -
地址 510700廣東省廣州市黃埔區(qū)連云路388號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型公開了一種化學(xué)機械拋光墊。本實用新型的化學(xué)機械拋光墊包括上拋光層和下拋光層；所述上拋光層采用包括粘貼的方式設(shè)置在所述下拋光層的表面上，摒棄了緩沖層，使得該化學(xué)機械拋光墊可以直接使用；所述上拋光層為棱柱陣列層，且相鄰的棱柱之間形成具有溝槽。從而無需采用銑削的方式加工開槽，減少原材料的浪費，降低拋光墊的制作成本，同時避免了銑削加工導(dǎo)致的碎屑在溝槽中的殘留，提高生產(chǎn)的晶圓的質(zhì)量。而且，所述上拋光層的棱柱為多邊形棱柱，能提高拋光液分布均勻性，有效延緩拋光流出時間，提高拋光墊利用率。