一種化學(xué)機(jī)械拋光墊
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN202123092169.9 | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開(kāi)（公告）號(hào) | CN216759447U | 公開(kāi)（公告）日 | 2022-06-17 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN216759447U | 申請(qǐng)公布日 | 2022-06-17 |
| 分類(lèi)號(hào) | B24B37/26（2012.01）I;B24B37/22（2012.01）I | 分類(lèi) | 磨削；拋光; |
| 發(fā)明人 | 袁黎光;肖亮鋒;王杰;劉健;石鑫;楊小牛 | 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人 | 廣東粵港澳大灣區(qū)黃埔材料研究院 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 廣州粵高專(zhuān)利商標(biāo)代理有限公司 | 代理人 | - |
| 地址 | 510700廣東省廣州市黃埔區(qū)連云路388號(hào) | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本實(shí)用新型公開(kāi)了一種化學(xué)機(jī)械拋光墊。本實(shí)用新型的化學(xué)機(jī)械拋光墊包括上拋光層和下拋光層；所述上拋光層采用包括粘貼的方式設(shè)置在所述下拋光層的表面上，摒棄了緩沖層，使得該化學(xué)機(jī)械拋光墊可以直接使用；所述上拋光層為棱柱陣列層，且相鄰的棱柱之間形成具有溝槽。從而無(wú)需采用銑削的方式加工開(kāi)槽，減少原材料的浪費(fèi)，降低拋光墊的制作成本，同時(shí)避免了銑削加工導(dǎo)致的碎屑在溝槽中的殘留，提高生產(chǎn)的晶圓的質(zhì)量。而且，所述上拋光層的棱柱為多邊形棱柱，能提高拋光液分布均勻性，有效延緩拋光流出時(shí)間，提高拋光墊利用率。 |
