一種半導體晶棒滾磨機床

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202121661856.5 申請日 -
公開（公告）號 CN215547280U 公開（公告）日 2022-01-18
申請公布號 CN215547280U 申請公布日 2022-01-18
分類號 B24B5/04（2006.01）I;B24B5/35（2006.01）I;B24B41/06（2012.01）I;B24B49/04（2006.01）I 分類 磨削；拋光;
發(fā)明人 朱凱;周江輝;唐學千;金明來;金敬武;徐杰;王永哲 申請（專利權）人 大連連城數(shù)控機器股份有限公司
代理機構 大連東方專利代理有限責任公司 代理人 李洪福
地址 116000遼寧省大連市甘井子區(qū)營城子鎮(zhèn)工業(yè)園區(qū)營日路40號-1、40號-2、40號-3
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型提供一種半導體晶棒滾磨機床，包括機床底座、位于機床底座上方的橫梁、安裝在所述橫梁上的Z軸進給滑臺及驅動Z軸進給滑臺運動的Z軸驅動裝置、安裝在Z軸進給滑臺底部的夾具組、安裝在機床底座上的上料導軌、安裝在所述上料導軌上的上料輸送滑臺、檢測滑臺和驅動機構、安裝在上料輸送滑臺上的上料定心裝置、安裝在檢測滑臺上的毛坯檢測裝置與X射線晶向檢測儀、安裝在機床底座上的晶棒磨削裝置和安裝在晶棒磨削裝置上的加工檢測裝置。本實用新型實現(xiàn)了全自動加工，機械上料、機械檢測確定磨削次數(shù)，減少了人工操作，增大了工作效率和工作精度。