一種晶圓加工設(shè)備用跨距可調(diào)節(jié)的定心夾緊裝置

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202121663471.2 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN215266253U 公開（公告）日 2021-12-21
申請(qǐng)公布號(hào) CN215266253U 申請(qǐng)公布日 2021-12-21
分類號(hào) H01L21/687（2006.01）I;H01L21/67（2006.01）I 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 朱凱;周江輝;唐學(xué)千;金明來;金敬武;徐杰;王永哲 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 大連連城數(shù)控機(jī)器股份有限公司
代理機(jī)構(gòu) 大連東方專利代理有限責(zé)任公司 代理人 李洪福
地址 116000遼寧省大連市甘井子區(qū)營城子鎮(zhèn)工業(yè)園區(qū)營日路40號(hào)-1、40號(hào)-2、40號(hào)-3
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型提供一種晶圓加工設(shè)備用跨距可調(diào)節(jié)的定心夾緊裝置，包括兩個(gè)滑板導(dǎo)軌、硅棒承載裝置、兩個(gè)夾爪系統(tǒng)和夾爪系統(tǒng)驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)；所述夾爪系統(tǒng)包括滑板、夾爪導(dǎo)軌、兩個(gè)夾爪和夾爪驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)，用于驅(qū)動(dòng)兩個(gè)所述夾爪沿所述夾爪導(dǎo)軌的延伸方向相向或相離運(yùn)動(dòng)?；鍖?dǎo)軌和夾爪導(dǎo)軌的延伸方向垂直設(shè)置，兩個(gè)所述夾爪相對(duì)的面具有呈V型的夾口。本實(shí)用新型可以實(shí)現(xiàn)將不同直徑規(guī)格的圓柱形晶圓毛坯棒料保持同一中心固定夾緊。且可根據(jù)不同長度硅棒，調(diào)節(jié)夾緊點(diǎn)跨距，保證晶圓毛坯中軸線水平。