一種爐蓋發(fā)黑處理的單晶生長爐

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202121611789.6 申請日 -
公開（公告）號 CN215668284U 公開（公告）日 2022-01-28
申請公布號 CN215668284U 申請公布日 2022-01-28
分類號 C30B15/00（2006.01）I;C30B29/06（2006.01）I 分類 晶體生長〔3〕;
發(fā)明人 黎志欣;逯占文 申請（專利權(quán)）人 大連連城數(shù)控機(jī)器股份有限公司
代理機(jī)構(gòu) 大連東方專利代理有限責(zé)任公司 代理人 李洪福
地址 116000遼寧省大連市甘井子區(qū)營城子鎮(zhèn)工業(yè)園區(qū)營日路40號-1、40號-2、40號-3
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型公開了一種爐蓋發(fā)黑處理的單晶生長爐，包括爐體、保溫筒、晶棒、水冷熱屏、加熱器、坩堝、堝幫、爐蓋、爐蓋吸熱層和熱屏吸熱層；所述水冷熱屏本體的內(nèi)壁發(fā)黑處理，能夠提高熱吸收效果，結(jié)晶界面的結(jié)晶潛熱能快速釋放，起到提高拉速潛力作用。由于水冷屏上方空間大，同樣存在熱量積累，在所述爐蓋上做發(fā)黑處理，有利于熱輻射的熱量更快速的釋放，晶棒經(jīng)歷熱歷史溫度降低和時間縮短。因此本實用新型能起到提高拉速作用，同時還能起到降低熱施主，減少長晶后二次缺陷的產(chǎn)生。