磁感應(yīng)器件及制造方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201710374584.2 申請日 -
公開（公告）號 CN107123505B 公開（公告）日 2019-02-26
申請公布號 CN107123505B 申請公布日 2019-02-26
分類號 H01F17/00;H01F27/28;H01L23/64;C23C28/02 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 方向明;伍榮翔;單建安 申請（專利權(quán)）人 成都線易科技有限責(zé)任公司
代理機(jī)構(gòu) 北京超凡志成知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 李思霖
地址 610213 四川省成都市天府新區(qū)天府大道南段846號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明實施例提供的磁感應(yīng)器件及制造方法在襯底的第一表面開設(shè)有第一凹槽，第一金屬層設(shè)置在第一凹槽內(nèi)，且第一金屬層的表面低于第一表面，第一金屬層的表面與第一表面共同構(gòu)成第一凹陷部，第一保護(hù)層的形狀與第一凹陷部的形狀相同，且第一保護(hù)層覆蓋第一凹陷部。本發(fā)明實施例中，由于第一金屬層的表面低于第一表面，使得覆蓋第一金屬層的第一保護(hù)層互相接觸的可能性更小，更有利于提高第一金屬層的布線密度，使得磁感應(yīng)器件在嵌入式金屬線的布線密度提高的情況下，不容易由于第一保護(hù)層的相互接觸而導(dǎo)致短路，有利于提高使用嵌入式金屬線的磁感應(yīng)器件的性能。