磁感應(yīng)器件及制造方法

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201710374569.8 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN107104120B 公開（公告）日 2019-03-15
申請(qǐng)公布號(hào) CN107104120B 申請(qǐng)公布日 2019-03-15
分類號(hào) H01L27/22（2006.01）I; H01L21/82（2006.01）I 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 方向明; 伍榮翔; 單建安 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 成都線易科技有限責(zé)任公司
代理機(jī)構(gòu) 北京超凡志成知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 趙志遠(yuǎn)
地址 610213 四川省成都市天府新區(qū)天府大道南段846號(hào)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明提供的磁感應(yīng)器件包括：襯底、第一金屬層以及第一介質(zhì)層，所述襯底的第一表面開設(shè)有凹槽，所述第一金屬層設(shè)置于所述凹槽內(nèi)，所述第一金屬層的表面低于所述第一表面，所述第一金屬層的表面與所述第一表面構(gòu)成第一凹陷部，所述第一介質(zhì)層設(shè)置于所述襯底的第一表面且所述第一介質(zhì)層填充所述第一凹陷部。本發(fā)明實(shí)施例提供的磁感應(yīng)器件以及制造方法通過第一金屬層的表面低于襯底表面形成第一凹陷部，且第一介質(zhì)層設(shè)置于襯底表面并填充第一凹陷部，使得第一金屬層與表面金屬層之間的介質(zhì)厚度增加而其他區(qū)域的介質(zhì)厚度不變，既能減小寄生電容和提高擊穿電壓，又能降低襯底翹曲以及介質(zhì)層剝離的風(fēng)險(xiǎn)。