一種抗顛振分子泵系統(tǒng)

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202022069067.4 申請日 -
公開（公告）號 CN213331586U 公開（公告）日 2021-06-01
申請公布號 CN213331586U 申請公布日 2021-06-01
分類號 F04D29/00（2006.01）I;F04D19/04（2006.01）I;F04D29/66（2006.01）I 分類 液體變?nèi)菔綑C械；液體泵或彈性流體泵;
發(fā)明人 鄧高飛;劉淑婷;陳林;齊英 申請（專利權(quán)）人 北京中科九微科技有限公司
代理機構(gòu) 北京三聚陽光知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 秦廣成
地址 101111北京市大興區(qū)經(jīng)濟技術(shù)開發(fā)區(qū)科創(chuàng)十四街99號33幢D棟2層2167號(集中辦公區(qū)）
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型提供的一種抗顛振分子泵系統(tǒng)，屬于分子泵技術(shù)領域，包括：機組底板；分子泵，連接在機組底板的頂面上；前級泵，連接在機組底板的頂面上，并通過管路與所述分子泵的排氣口處連通；控制器，連接在機組底板的頂面上，并分別與分子泵、前級泵電連接；減振器，一端連接在機組底板的底面上，另一端適于固定。本實用新型的分子泵、前級泵以及控制器集成在機組底板上，使得整體結(jié)構(gòu)緊湊且安裝方便；機組底板的底面設置有減振器，能有效地吸收消除其它設備對分子泵系統(tǒng)的振動影響，保障了分子泵系統(tǒng)的性能和使用壽命。??