一種分子泵機(jī)組及真空系統(tǒng)檢漏方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202010929724.X 申請日 -
公開（公告）號 CN111999014A 公開（公告）日 2020-11-27
申請公布號 CN111999014A 申請公布日 2020-11-27
分類號 G01M3/26(2006.01)I 分類 測量；測試;
發(fā)明人 蘇長明;任世瑜;鄧高飛;孫靈豪;齊英;陳林 申請（專利權(quán)）人 北京中科九微科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京三聚陽光知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 北京中科九微科技有限公司
地址 102600北京市大興區(qū)經(jīng)濟(jì)技術(shù)開發(fā)區(qū)科創(chuàng)十四街99號33幢D棟2層2167號(集中辦公區(qū)）
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明提供了一種分子泵機(jī)組及真空檢漏方法，其中，分子泵機(jī)組包括前級泵及分子泵、前級真空計(jì)、高真空計(jì)、機(jī)組控制器；前級真空計(jì)設(shè)置于真空管路上，用于測量前級泵開啟時(shí)的前級壓強(qiáng)；高真空計(jì)設(shè)置于真空室上，用于測量分子泵開啟時(shí)的真空室壓強(qiáng)；機(jī)組控制器用于根據(jù)前級壓強(qiáng)和真空室壓強(qiáng)檢測分子泵機(jī)組所在的真空系統(tǒng)是否存在漏氣故障。通過實(shí)施本發(fā)明可以實(shí)現(xiàn)漏氣故障的自檢測，無需使用額外的儀器，使得對分子泵機(jī)組漏氣故障的檢查更簡單快捷。??