一種磁懸浮分子泵位移傳感器的檢測工裝

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202021676665.1 申請日 -
公開（公告）號 CN212512960U 公開（公告）日 2021-02-09
申請公布號 CN212512960U 申請公布日 2021-02-09
分類號 G01B21/02(2006.01)I 分類 測量；測試;
發(fā)明人 陳林;劉強;張亮;任世瑜 申請（專利權）人 北京中科九微科技有限公司
代理機構 北京三聚陽光知識產(chǎn)權代理有限公司 代理人 秦廣成
地址 101111北京市大興區(qū)經(jīng)濟技術開發(fā)區(qū)科創(chuàng)十四街99號33幢D棟2層2167號(集中辦公區(qū)）
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型提供的一種磁懸浮分子泵位移傳感器的檢測工裝，屬于檢測設備技術領域，包括：XYZ移動平臺，安裝在底板上；測試件固定架，連接在XYZ移動平臺上，具有用于連接測試件的伸出端和可拆卸地豎直連接在所述伸出端上的連接桿；測試件，連接在所述連接桿的底端；所述測試件具有：底部平面和弧形側壁面；或者，所述測試件包括:第一測試件和第二測試件，所述第一測試件具有底部平面，所述第二測試件具有側壁弧形面；本實用新型的磁懸浮分子泵位移傳感器的檢測工裝，結構簡單，測量精準，可反復使用，在同一個工裝下，只需更換測試件，即可實現(xiàn)不同傳感器的測量。??