一種高精度激光加工遠(yuǎn)心F-Theta掃描透鏡

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201910034362.5 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN109633865A 公開（公告）日 2019-04-16
申請(qǐng)公布號(hào) CN109633865A 申請(qǐng)公布日 2019-04-16
分類號(hào) G02B13/00（2006.01）I; G02B13/22（2006.01）I 分類 光學(xué);
發(fā)明人 辜長(zhǎng)明; 朱國(guó)亮 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 淄博海泰新光光學(xué)技術(shù)有限公司
代理機(jī)構(gòu) - 代理人 -
地址 255000 山東省淄博市高新區(qū)民祥路華鴻物流園7號(hào)倉(cāng)庫(kù)二層
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開一種激光加工應(yīng)用中的遠(yuǎn)心F?Theta掃描場(chǎng)鏡。從激光入射方向開始，包括具有焦距f1的第一透鏡L1、具有焦距f2的第二透鏡L2、具有焦距f3的第三透鏡L3、具有焦距f4的第四透鏡L4、具有焦距f5的第五透鏡L5、具有焦距f6的第六透鏡L6，物鏡總焦距為f。本發(fā)明的掃描場(chǎng)鏡排布成“+??+++”的光焦度分布，與現(xiàn)有技術(shù)相比，掃描場(chǎng)鏡在保證嚴(yán)格F?Theta線性前提下，全幅面光斑大小具有高度一致性并保持良好的會(huì)聚性。本發(fā)明F?Theta鏡頭特別適用于高精度激光加工應(yīng)用，如切割和鉆孔。