一種多元氮化物醫(yī)療器械保護(hù)性涂層及其制備方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202110396499.2 申請日 -
公開（公告）號 CN113106390A 公開（公告）日 2021-07-13
申請公布號 CN113106390A 申請公布日 2021-07-13
分類號 C23C14/06（2006.01）I;C23C14/02（2006.01）I;C23C14/54（2006.01）I;C23C14/35（2006.01）I 分類 對金屬材料的鍍覆；用金屬材料對材料的鍍覆；表面化學(xué)處理；金屬材料的擴(kuò)散處理；真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學(xué)氣相沉積法的一般鍍覆；金屬材料腐蝕或積垢的一般抑制〔2〕;
發(fā)明人 李偉;邵國森 申請（專利權(quán)）人 上海銳力醫(yī)療器械有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京迎碩知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 錢揚(yáng)保;張群峰
地址 200433上海市楊浦區(qū)翔殷路128號11號樓D座302室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明涉及一種多元氮化物醫(yī)療器械保護(hù)性涂層，其分子式為（AlCrTiZrMo）N，屬于保護(hù)性涂層技術(shù)領(lǐng)域。本發(fā)明還提供上述涂層制備方法：首先將基體表面作鏡面拋光處理，然后經(jīng)過丙酮、酒精的超聲清洗，真空離子清洗后，采用射頻反應(yīng)磁控濺射方法沉積AlCrTiZrMo層。其中（AlCrTiZrMo）N多元氮化物涂層由等原子摩爾比的AlCrTiZrMo合金靶材在（Ar+N2）氣氛下制得。本發(fā)明涉及的多元氮化物涂層能夠彌補(bǔ)醫(yī)療器械存在硬度及耐磨性等性能方面的不足，拓寬了醫(yī)療器械保護(hù)性涂層的研究范圍。