一種硅片生產(chǎn)加工用視覺(jué)檢測(cè)器

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202122730680.0 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)(公告)號(hào) CN216120215U 公開(kāi)(公告)日 2022-03-22
申請(qǐng)公布號(hào) CN216120215U 申請(qǐng)公布日 2022-03-22
分類號(hào) H01L21/66(2006.01)I;H01L31/18(2006.01)I;H01L21/677(2006.01)I;B08B1/02(2006.01)I 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 李躍 申請(qǐng)(專利權(quán))人 東方日升(安徽)新能源有限公司
代理機(jī)構(gòu) 滁州創(chuàng)科維知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 代理人 洪余節(jié)
地址 239000安徽省滁州市常州路以東、海寧路以南、滁州大道以西、銅陵路以北
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型公開(kāi)了一種硅片生產(chǎn)加工用視覺(jué)檢測(cè)器,包括防塵倉(cāng),所述防塵倉(cāng)內(nèi)底面固定設(shè)置有兩個(gè)支座,兩個(gè)所述支座之間固定設(shè)置有放置盤,所述放置盤上設(shè)置有反饋基板,所述放置盤外的兩相對(duì)側(cè)均設(shè)置有滾動(dòng)帶,兩個(gè)所述滾動(dòng)帶之間固定設(shè)置有可對(duì)反饋基板的上表面進(jìn)行周期性清潔的清潔刷。本實(shí)用新型通過(guò)設(shè)置固定于滾動(dòng)帶上的清潔刷,使得清潔刷在滾動(dòng)帶的帶動(dòng)下發(fā)生環(huán)繞放置盤上下側(cè)的周期性滾動(dòng),進(jìn)而實(shí)現(xiàn)了,既在清潔刷滾動(dòng)經(jīng)過(guò)放置盤下側(cè)時(shí),不妨礙硅片的視覺(jué)檢測(cè)要求,也在清潔刷滾動(dòng)經(jīng)過(guò)放置盤上側(cè)時(shí),對(duì)反饋基板的上表面進(jìn)行清潔,保證硅片視覺(jué)檢測(cè)的準(zhǔn)確性,代替了人工將反饋基板取出而進(jìn)行清潔的麻煩操作。