單晶PERC電池及其擴(kuò)散方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202110988501.5 申請日 -
公開（公告）號 CN113851556A 公開（公告）日 2021-12-28
申請公布號 CN113851556A 申請公布日 2021-12-28
分類號 H01L31/18（2006.01）I;H01L21/225（2006.01）I;H01L31/068（2012.01）I;H01L31/0216（2014.01）I 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 朱士祥 申請（專利權(quán)）人 東方日升（安徽）新能源有限公司
代理機(jī)構(gòu) 滁州創(chuàng)科維知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 洪余節(jié)
地址 239000安徽省滁州市常州路以東、海寧路以南、滁州大道以西、銅陵路以北
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了單晶PERC電池及其擴(kuò)散方法，包括如下步驟：S1：第一次預(yù)沉積，通入攜帶三氯氧磷的氮氣和氧氣進(jìn)行第一次預(yù)沉積，流量為1001?1200sccm，氧氣流量為500?700sccm，時間為200?450s，溫度750℃?800℃；S2：溫度升至800℃?900℃，通入攜帶三氯氧磷的氮氣和氧氣，攜帶三氯氧磷的氮氣流量為400?600sccm，氧氣流量為80?600sccm；時間為500?800s；S4：爐內(nèi)進(jìn)行降溫處理；本發(fā)明提供的單晶PERC電池及其擴(kuò)散方法，通過在第一次預(yù)沉積的步驟中增加三氯氧磷的通入量，即在規(guī)定的時間內(nèi)能夠提高擴(kuò)散表面濃度，加厚硅片表面的磷硅玻璃，從而對硅片內(nèi)部PN結(jié)起到一定的保護(hù)作用，可消除PN結(jié)表面的皮帶印，有效的保護(hù)硅片內(nèi)部的PN結(jié)，提高單晶PERC電池的生產(chǎn)質(zhì)量。