基于硅片清洗輸送用的花籃干燥裝置

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202122744970.0 申請日 -
公開（公告）號 CN216115234U 公開（公告）日 2022-03-22
申請公布號 CN216115234U 申請公布日 2022-03-22
分類號 F26B15/12（2006.01）I;F26B5/16（2006.01）I;F26B25/00（2006.01）I 分類 干燥;
發(fā)明人 李躍 申請（專利權）人 東方日升（安徽）新能源有限公司
代理機構 滁州創(chuàng)科維知識產權代理事務所（普通合伙） 代理人 洪余節(jié)
地址 239000安徽省滁州市常州路以東、海寧路以南、滁州大道以西、銅陵路以北
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型公開了基于硅片清洗輸送用的花籃干燥裝置，包括軌道臺，所述軌道臺上側設置有吊運架，所述吊運架內設置有兩個帶輪循環(huán)機構，所述帶輪循環(huán)機構上設置有多個用于干燥硅片花籃端部上表面的吸水布，所述吊運架上端設有用于去除吸水布中水分的熱干燥機構。本實用新型通過設置帶輪循環(huán)機構，可帶動多個吸水布循環(huán)滾動，進而實現對硅片花籃端部的上表面連續(xù)干燥的作用，接著，吸水后變濕的吸水布在帶輪循環(huán)機構的帶動下，而經過熱干燥機構時，又可同時受到擠壓及加熱作用，而將其吸收的水分排出并蒸發(fā)掉，從而保證了吸水布時刻以干燥狀態(tài)來對花籃進行干燥，干燥效果更好。