一種潤滑薄膜的制備方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201410218285.6 申請日 -
公開（公告）號 CN103984204A 公開（公告）日 2014-08-13
申請公布號 CN103984204A 申請公布日 2014-08-13
分類號 G03F7/00(2006.01)I;B81C1/00(2006.01)I 分類 攝影術(shù)；電影術(shù)；利用了光波以外其他波的類似技術(shù)；電記錄術(shù)；全息攝影術(shù)〔4〕;
發(fā)明人 李豐;鄧萌萌;石振;楊立梅 申請（專利權(quán)）人 南京豐強(qiáng)納米科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 蘇州創(chuàng)元專利商標(biāo)事務(wù)所有限公司 代理人 蘇州錦元納米科技有限公司;南京豐強(qiáng)納米科技有限公司;蘇州錦富技術(shù)股份有限公司
地址 215121 江蘇省蘇州市蘇州工業(yè)園區(qū)金雞湖大道99號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種潤滑薄膜的制備方法，包括：對基底表面上的薄膜層進(jìn)行預(yù)處理；旋涂光刻膠，加熱后紫外固化形成中間層；形成紫外光固化納米壓印膠層；將軟質(zhì)壓印模板壓入紫外光固化納米壓印膠層，在紫外燈下曝光；刻蝕去除未曝光處殘余的紫外光固化納米壓印膠，露出中間層；以紫外光固化納米壓印膠層作為掩膜層，刻蝕中間層，露出薄膜層；以紫外光固化納米壓印膠層和中間層作為掩膜，刻蝕薄膜層，在薄膜層上形成微納結(jié)構(gòu)；去除紫外光固化納米壓印膠層和中間層，獲得所需潤滑薄膜。本發(fā)明利用軟壓印復(fù)合納米壓印技術(shù)，有效地將所需的圖案轉(zhuǎn)移到薄膜上，可以在不規(guī)則的非平面上制備微納結(jié)構(gòu)的潤滑薄膜。具有高效，低成本，高分辨率的特點(diǎn)。