一種基于泰伯效應(yīng)恢復(fù)光柵缺陷的紫外光刻裝置

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201610348352.5 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)（公告）號(hào) CN105954971A 公開(kāi)（公告）日 2016-09-21
申請(qǐng)公布號(hào) CN105954971A 申請(qǐng)公布日 2016-09-21
分類(lèi)號(hào) G03F7/00(2006.01)I;G03F7/20(2006.01)I 分類(lèi) 攝影術(shù)；電影術(shù)；利用了光波以外其他波的類(lèi)似技術(shù)；電記錄術(shù)；全息攝影術(shù)〔4〕;
發(fā)明人 鄧茜;劉俊伯;趙立新;胡松 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人 四川科奧達(dá)技術(shù)有限公司
代理機(jī)構(gòu) 成都弘毅天承知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 徐金瓊
地址 610207四川省成都市雙流航空港開(kāi)發(fā)區(qū)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開(kāi)了一種基于泰伯效應(yīng)恢復(fù)光柵缺陷的紫外光刻裝置，屬于微電子、微光學(xué)、微納結(jié)構(gòu)和光電子器件制備等微納加工領(lǐng)域的光刻技術(shù)領(lǐng)域，解決現(xiàn)有技術(shù)存在的極紫外光源體積大，成本高，操作安全系數(shù)難以保證的問(wèn)題。本發(fā)明包括高壓汞燈、冷光橢球鏡、冷光反射鏡、快門(mén)、積木錯(cuò)位蠅眼透鏡、聚光鏡、大反射鏡、精密工件臺(tái)、計(jì)算機(jī)及電控系統(tǒng)。本發(fā)明用于對(duì)缺陷掩膜結(jié)構(gòu)的完整恢復(fù)。