一種實現(xiàn)光刻機自動對準工件臺旋轉方向精確定位的機構

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201621194600.7 申請日 -
公開（公告）號 CN206331229U 公開（公告）日 2017-07-14
申請公布號 CN206331229U 申請公布日 2017-07-14
分類號 G03F7/20 分類 攝影術；電影術；利用了光波以外其他波的類似技術；電記錄術；全息攝影術〔4〕;
發(fā)明人 杜婧;龔健文;趙立新 申請（專利權）人 四川科奧達技術有限公司
代理機構 成都弘毅天承知識產(chǎn)權代理有限公司 代理人 李春芳;劉賢科
地址 610207 四川省成都市雙流航空港開發(fā)區(qū)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型公開一種實現(xiàn)光刻機自動對準工件臺旋轉方向精確定位的機構，涉及微電子專用設備領域，包括基板和與基板連接并能在基板上旋轉的旋轉機構，所述旋轉機構設有旋轉向頂塊，所述基板上還設置有旋轉驅動機構，所述旋轉驅動機構包括能夠在基板上做直線運動并驅動旋轉向頂塊轉動的頂桿；所述旋轉驅動機構還包括用于復位旋轉向頂塊和防止旋轉向頂塊做慣性運動的彈性端，所述彈性端包括連接設置的跟蹤滑桿和彈性裝置；所述基板上還設置有用于采集頂桿直線運動距離的光柵傳感器組件；本實用新型解決了目前我國市面上的光刻機自動對準工件臺旋轉方向定位的精確度和成本無法兼顧的問題。