一種柔性聚合物掃描裝置

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202110818310.4 申請日 -
公開（公告）號 CN113529021A 公開（公告）日 2021-10-22
申請公布號 CN113529021A 申請公布日 2021-10-22
分類號 C23C14/22 分類 對金屬材料的鍍覆；用金屬材料對材料的鍍覆；表面化學處理；金屬材料的擴散處理；真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學氣相沉積法的一般鍍覆；金屬材料腐蝕或積垢的一般抑制〔2〕;
發(fā)明人 羅軍;陳小曼;陳琳;龐盼;鐘三子;盧艷;李肅;林志浩;劉陽波 申請（專利權(quán)）人 順束科技（天津）合伙企業(yè)（有限合伙）
代理機構(gòu) 北京高沃律師事務所 代理人 張德才
地址 301799 天津市武清區(qū)京津電子商務產(chǎn)業(yè)園宏旺道2號14號樓201室08號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開一種柔性聚合物掃描裝置，涉及電子材料技術(shù)領(lǐng)域，包括陽極筒、磁過濾彎管、連接管、真空腔室、磁環(huán)線包、脈沖負偏壓電網(wǎng)和絕緣支架，陽極筒、磁過濾彎管、連接管和真空腔室依次連接，磁環(huán)線包設置于磁過濾彎管和連接管之間，磁環(huán)線包中通入交流電，脈沖負偏壓電網(wǎng)通過絕緣支架安裝于真空腔室中，脈沖負偏壓電網(wǎng)與連接管的出口位置相對應，脈沖負偏壓電網(wǎng)遠離連接管的一側(cè)用于設置聚合物基體。本發(fā)明提供的柔性聚合物掃描裝置，能夠?qū)崿F(xiàn)聚合物基體表面金屬或非金屬膜層的均勻沉積，提升了膜層致密性，提高了離子能量。