一種柔性聚合物金屬沉積復(fù)合處理裝置
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN202110819214.1 | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開（公告）號(hào) | CN113463060A | 公開（公告）日 | 2021-10-01 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN113463060A | 申請(qǐng)公布日 | 2021-10-01 |
| 分類號(hào) | C23C14/56（2006.01）I;C23C14/35（2006.01）I;C23C14/20（2006.01）I;C23C14/46（2006.01）I | 分類 | 對(duì)金屬材料的鍍覆；用金屬材料對(duì)材料的鍍覆；表面化學(xué)處理；金屬材料的擴(kuò)散處理；真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學(xué)氣相沉積法的一般鍍覆；金屬材料腐蝕或積垢的一般抑制〔2〕; |
| 發(fā)明人 | 羅軍;陳小曼;陳琳;龐盼;鐘三子;盧艷;李肅;林志浩;劉陽波 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 | 順束科技（天津）合伙企業(yè)（有限合伙） |
| 代理機(jī)構(gòu) | 北京高沃律師事務(wù)所 | 代理人 | 張?zhí)煲?/td> |
| 地址 | 301799天津市武清區(qū)京津電子商務(wù)產(chǎn)業(yè)園宏旺道2號(hào)14號(hào)樓201室08號(hào) | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本發(fā)明公開了一種柔性聚合物金屬沉積復(fù)合處理裝置，包括放/收卷真空腔室、主體真空腔室、放/收卷裝置和抽真空裝置，放/收卷真空腔室和主體真空腔室之間通過狹縫一和狹縫二連通，放/收卷真空腔室內(nèi)設(shè)置有放卷輥和收卷輥，主體真空腔室內(nèi)設(shè)置有冷輥一、冷輥二和展平輥，展平輥分布有多個(gè)，冷輥一處設(shè)置有高功率脈沖磁控和低能離子束設(shè)備，冷輥二處設(shè)置有高功率脈沖磁控，聚合物基體膜從放卷輥開始，穿過狹縫一后經(jīng)過展平輥、冷輥一、冷輥二后，經(jīng)其他展平輥后穿過狹縫二回到收卷輥；抽真空裝置用于放/收卷真空腔室和主體真空腔室的抽真空處理；本發(fā)明能夠解決聚合物表面金屬沉積的結(jié)合強(qiáng)度、均勻性和致密性不能滿足使用要求的問題。 |
