一種柔性聚合物處理高能離子束裝置

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202110818293.4 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN113539779A 公開（公告）日 2021-10-22
申請(qǐng)公布號(hào) CN113539779A 申請(qǐng)公布日 2021-10-22
分類號(hào) H01J37/32（2006.01）I;C08J3/28（2006.01）I 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 羅軍;陳小曼;陳琳;龐盼;鐘三子;盧艷;李肅;林志浩;劉陽波 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 順束科技（天津）合伙企業(yè)（有限合伙）
代理機(jī)構(gòu) 北京高沃律師事務(wù)所 代理人 史云聰
地址 301799天津市武清區(qū)京津電子商務(wù)產(chǎn)業(yè)園宏旺道2號(hào)14號(hào)樓201室08號(hào)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開一種柔性聚合物處理高能離子束裝置，涉及聚合物材料制備裝置技術(shù)領(lǐng)域，包括放電腔室、陽極筒和處理真空室，放電腔室的一端設(shè)有進(jìn)氣口，放電腔室的另一端與陽極筒的一端相連接，陽極筒的另一端與處理真空室的一端相連接；所述處理真空室內(nèi)設(shè)置有卷軸聚合物基體。放電氣體經(jīng)電暈針產(chǎn)生少部分等離子體后進(jìn)入放電腔室，由放電腔室外部的振蕩線圈和外置線包為電子提供能量并引導(dǎo)電子做螺旋運(yùn)動(dòng)，增加電子的運(yùn)動(dòng)路程，增加電子與氣體的碰撞概率，從而使更多氣體轉(zhuǎn)化為等離子體；在通過擴(kuò)張杯進(jìn)入陽極筒進(jìn)行加速，并反射電子，避免電子進(jìn)入處理真空室，從而得到處理真空室內(nèi)的高純度的高能離子束，以提高結(jié)合強(qiáng)度、均勻性和致密性。