衍射型光陣列波導(dǎo)光柵及其制備方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202011380220.3 申請日 -
公開（公告）號 CN112505828A 公開（公告）日 2021-03-16
申請公布號 CN112505828A 申請公布日 2021-03-16
分類號 G02B6/124(2006.01)I;G02B6/136(2006.01)I 分類 光學;
發(fā)明人 徐來;周大海;徐炎 申請（專利權(quán)）人 武漢永鼎光電子技術(shù)有限公司
代理機構(gòu) 武漢瑞創(chuàng)星知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 劉艷麗
地址 430079湖北省武漢市東湖新技術(shù)開發(fā)區(qū)高新大道999號海外人才大樓A座18樓195室(自貿(mào)區(qū)武漢片區(qū))
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明提供衍射型光陣列波導(dǎo)光柵及其制備方法，涉及衍射光柵技術(shù)領(lǐng)域，該衍射型光陣列波導(dǎo)光柵及其制備方法，包括光柵基材，所述光柵基材的表面形成有多個凸棱，多個所述凸棱相互平行且等間距設(shè)置，相鄰的兩個凸棱之間形成凹槽，多個所述凹槽中的每個凹槽的深寬比大于或等于7:1，凹槽的寬度范圍為15nm至95nm。本發(fā)明提供的光柵的凹槽的寬度較小，介于15nm至95nm，深寬比較大，大于等于7:1，因此本發(fā)明提供的光柵為高密度、高深寬比的亞波長光柵，其衍射效率高，且該種光柵的凹槽的側(cè)壁光滑、陡直，因此其散射小，使其在光譜儀器、特種干涉儀、光盤技術(shù)和光互聯(lián)領(lǐng)域具有較好的應(yīng)用。??