一種硅片超聲清洗機(jī)水循環(huán)系統(tǒng)

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201720040088.9 申請日 -
公開（公告）號 CN206483773U 公開（公告）日 2017-09-12
申請公布號 CN206483773U 申請公布日 2017-09-12
分類號 B08B3/12(2006.01)I 分類 清潔;
發(fā)明人 嚴(yán)徇成;張亞超;何迎輝 申請（專利權(quán)）人 淮安金太陽電力有限公司
代理機(jī)構(gòu) 淮安市科文知識產(chǎn)權(quán)事務(wù)所 代理人 淮安金太陽電力有限公司
地址 223300 江蘇省淮安市淮陰經(jīng)濟(jì)開發(fā)區(qū)翔宇北道608號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型公開了一種硅片超聲清洗機(jī)水循環(huán)系統(tǒng)，所述硅片超聲清洗機(jī)設(shè)置有多道順序排列的清洗水槽，多道所述清洗水槽分別通過溢流口連通有溢流水槽，所述溢流水槽包括至少兩個相互隔離的腔室，位于后部的數(shù)道清洗水槽連通溢流水槽的同一腔室，該腔室通過設(shè)置有水泵的管道連通位于前部的清洗水槽。本實(shí)用新型將后部的數(shù)道清洗水槽排出的污水收集回供對清潔度要求較低的前部清洗水槽，有效降低用水量，節(jié)約資源，降低硅片的制作成本。