一種含氟混合氣的配氣系統(tǒng)及其鈍化方法和配重方法
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN201910730074.3 | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開（公告）號(hào) | CN110486617B | 公開（公告）日 | 2021-01-15 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN110486617B | 申請(qǐng)公布日 | 2021-01-15 |
| 分類號(hào) | F17C5/00;F17C5/06;F17C13/00;F17C13/02;F17C13/04;B01D53/81;B01D53/78;B01D53/68;C23C26/00 | 分類 | 氣體或液體的貯存或分配; |
| 發(fā)明人 | 張觀海;陳艷珊;廖恒易 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 | 廣東華特氣體股份有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 佛山市禾才知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 | 代理人 | 廣東華特氣體股份有限公司 |
| 地址 | 528000 廣東省佛山市南海區(qū)里水鎮(zhèn)和順逢西村文頭嶺腳東側(cè) | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 一種含氟混合氣的配氣系統(tǒng)，包括尾氣處理裝置、真空泵、吸附器、氣體濃度稀釋瓶、調(diào)壓瓶、鋼瓶組、含氟瓶、主管、鋼瓶組管、排空管、抽空管、第一分管和第二分管；主管的一端連通至調(diào)壓瓶，主管的另一端連通至含氟瓶；鋼瓶組包括多個(gè)鋼瓶，多個(gè)鋼瓶分別連通至鋼瓶組管，鋼瓶組管連通至主管；氣體濃度稀釋瓶通過氣體濃度稀釋管連通至排空管；抽空管的一端連通至主管，抽空管的另一端連通至真空泵的輸入端，真空泵的輸出端連通至尾氣處理裝置；本發(fā)明根據(jù)上述內(nèi)容提出一種含氟混合氣的配氣系統(tǒng)及其鈍化方法和配重方法，能夠?qū)︿撈績?nèi)壁的進(jìn)行鈍化處理，也可以實(shí)現(xiàn)配制任何含氟比例的混合氣，并且有效地處理尾氣的排放。 |
