感性耦合反應(yīng)器

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202021506953.2 申請日 -
公開（公告）號 CN212322966U 公開（公告）日 2021-01-08
申請公布號 CN212322966U 申請公布日 2021-01-08
分類號 H01L21/67;H01J37/32 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 吳堃;楊猛 申請（專利權(quán)）人 上海邦芯半導(dǎo)體科技有限公司
代理機構(gòu) - 代理人 -
地址 201500 上海市金山區(qū)衛(wèi)昌路293號2幢12638室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 一種感性耦合反應(yīng)器，感性耦合反應(yīng)器包括：反應(yīng)腔主體；位于所述反應(yīng)腔主體上方的感性耦合射頻單元；所述感性耦合射頻單元包括：屏蔽罩；位于所述屏蔽罩內(nèi)部的反應(yīng)室介質(zhì)管，所述反應(yīng)室介質(zhì)管的側(cè)壁傾斜且反應(yīng)室介質(zhì)管的頂部橫截面小于底部橫截面；位于所述屏蔽罩內(nèi)部且分布于所述反應(yīng)室介質(zhì)管側(cè)部的上射頻天線和下射頻天線，所述上射頻天線和下射頻天線相互分立，所述上射頻天線饋入的射頻功率和所述下射頻天線饋入的射頻功率分別可調(diào)。所述感性耦合反應(yīng)器能加強對等離子體分布的控制能力。