感性耦合反應(yīng)器

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202021504258.2 申請日 -
公開（公告）號 CN212485279U 公開（公告）日 2021-02-05
申請公布號 CN212485279U 申請公布日 2021-02-05
分類號 H01L21/67(2006.01)I;H01J37/32(2006.01)I 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 吳堃 申請（專利權(quán)）人 上海邦芯半導(dǎo)體科技有限公司
代理機構(gòu) - 代理人 -
地址 201500上海市金山區(qū)衛(wèi)昌路293號2幢12638室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 一種感性耦合反應(yīng)器，包括：反應(yīng)腔主體；位于所述反應(yīng)腔主體上方的感性耦合射頻單元；所述感性耦合射頻單元包括：屏蔽罩；位于所述屏蔽罩內(nèi)部的反應(yīng)室介質(zhì)管，所述反應(yīng)室介質(zhì)管的外側(cè)壁傾斜且反應(yīng)室介質(zhì)管的頂部橫截面小于底部橫截面，所述反應(yīng)室介質(zhì)管內(nèi)側(cè)壁還設(shè)置有隔離件，所述隔離件將反應(yīng)室介質(zhì)管的內(nèi)部區(qū)域分為第一反應(yīng)區(qū)域和位于第一反應(yīng)區(qū)域兩側(cè)的第二反應(yīng)區(qū)域；位于所述屏蔽罩內(nèi)部且分布于所述反應(yīng)室介質(zhì)管側(cè)部的射頻天線。所述感性耦合反應(yīng)器能加強對等離子分布的控制能力。??