感性耦合反應(yīng)器
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN202021504259.7 | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開(kāi)（公告）號(hào) | CN212322964U | 公開(kāi)（公告）日 | 2021-01-08 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN212322964U | 申請(qǐng)公布日 | 2021-01-08 |
| 分類(lèi)號(hào) | H01L21/67(2006.01)I;H01J37/32(2006.01)I | 分類(lèi) | 基本電氣元件; |
| 發(fā)明人 | 吳堃;楊猛 | 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人 | 上海邦芯半導(dǎo)體科技有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | - | 代理人 | - |
| 地址 | 201500上海市松江區(qū)衛(wèi)昌路293號(hào)2幢12638室 | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 一種感性耦合反應(yīng)器，感性耦合反應(yīng)器包括：反應(yīng)腔主體；位于所述反應(yīng)腔主體上方的感性耦合射頻單元；所述感性耦合射頻單元包括：屏蔽罩；位于所述屏蔽罩內(nèi)部的反應(yīng)室介質(zhì)管，所述反應(yīng)室介質(zhì)管的側(cè)壁傾斜且反應(yīng)室介質(zhì)管的頂部橫截面小于底部橫截面；位于所述屏蔽罩內(nèi)部且分布于所述反應(yīng)室介質(zhì)管側(cè)部的射頻天線，所述射頻天線包括有效射頻天線，所述有效射頻天線的高度可調(diào)。所述感性耦合反應(yīng)器能加強(qiáng)對(duì)等離子體分布的控制能力。?? |
