一種電感耦合等離子體裝置

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202110643823.6 申請日 -
公開（公告）號 CN113223916A 公開（公告）日 2021-08-06
申請公布號 CN113223916A 申請公布日 2021-08-06
分類號 H01J37/32（2006.01）I;H01L21/3065（2006.01）I 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 吳堃 申請（專利權(quán)）人 上海邦芯半導(dǎo)體科技有限公司
代理機構(gòu) 上海創(chuàng)開專利代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 李蘭蘭
地址 201500上海市金山區(qū)衛(wèi)昌路293號2幢12638室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 一種電感耦合等離子體裝置，包括：反應(yīng)腔主體，所述反應(yīng)腔主體的頂壁包括介質(zhì)窗；位于介質(zhì)窗頂部的電感線圈；位于介質(zhì)窗頂部的若干分立的磁性元件，所述磁性元件至少被部分圈的電感線圈包圍且與電感線圈分立。所述電感耦合等離子體裝置能夠調(diào)節(jié)反應(yīng)腔主體內(nèi)部的等離子體密度分度且結(jié)構(gòu)簡單。