抗蝕劑剝離劑組合物以及使用該組合物的抗蝕劑剝離方法
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN201080006366.X | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開(kāi)（公告）號(hào) | CN102301283A | 公開(kāi)（公告）日 | 2011-12-28 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN102301283A | 申請(qǐng)公布日 | 2011-12-28 |
| 分類(lèi)號(hào) | G03F7/42(2006.01)I;H01L21/027(2006.01)I | 分類(lèi) | 攝影術(shù)；電影術(shù)；利用了光波以外其他波的類(lèi)似技術(shù)；電記錄術(shù)；全息攝影術(shù)〔4〕; |
| 發(fā)明人 | 藤岡東洋藏;山崎勇人 | 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人 | 山東信敏惠化工集團(tuán)有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 中國(guó)專(zhuān)利代理（香港）有限公司 | 代理人 | 出光興產(chǎn)株式會(huì)社;山東慶云長(zhǎng)信化學(xué)科技有限公司 |
| 地址 | 日本東京都 | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本發(fā)明提供即使在溶解有抗蝕劑的狀態(tài)下也得到充分的剝離性能的、可以長(zhǎng)期使用的抗蝕劑剝離劑組合物以及使用該組合物的抗蝕劑剝離方法，所述抗蝕劑剝離劑組合物含有下式(1)所示的酰胺類(lèi)溶劑(A)和有機(jī)胺化合物(B)，所述抗蝕劑剝離方法的特征在于，使用該抗蝕劑剝離劑組合物。(式中，R1為碳原子數(shù)為1～6的直鏈狀、支鏈狀或環(huán)狀烷基，R2和R3分別獨(dú)立地為碳原子數(shù)為1～3的直鏈狀或支鏈狀烷基。n為0～2的整數(shù)。) |
