抗蝕劑剝離劑組合物以及使用該組合物的抗蝕劑剝離方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201080006366.X 申請日 -
公開（公告）號 CN102301283B 公開（公告）日 2014-10-08
申請公布號 CN102301283B 申請公布日 2014-10-08
分類號 G03F7/42(2006.01)I;H01L21/027(2006.01)I 分類 攝影術(shù)；電影術(shù)；利用了光波以外其他波的類似技術(shù)；電記錄術(shù)；全息攝影術(shù)〔4〕;
發(fā)明人 藤岡東洋藏;山崎勇人 申請（專利權(quán)）人 山東信敏惠化工集團(tuán)有限公司
代理機(jī)構(gòu) 中國專利代理（香港）有限公司 代理人 出光興產(chǎn)株式會社;山東慶云長信化學(xué)科技有限公司
地址 日本東京都
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明提供即使在溶解有抗蝕劑的狀態(tài)下也得到充分的剝離性能的、可以長期使用的抗蝕劑剝離劑組合物以及使用該組合物的抗蝕劑剝離方法，所述抗蝕劑剝離劑組合物含有下式(1)所示的酰胺類溶劑(A)和有機(jī)胺化合物(B)，所述抗蝕劑剝離方法的特征在于，使用該抗蝕劑剝離劑組合物。式中，R1為碳原子數(shù)為1～6的直鏈狀、支鏈狀或環(huán)狀烷基，R2和R3分別獨(dú)立地為碳原子數(shù)為1～3的直鏈狀或支鏈狀烷基。n為0～2的整數(shù)。