新單晶硅太陽(yáng)能電池制作方法

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201110265114.5 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)（公告）號(hào) CN102315327B 公開(kāi)（公告）日 2013-10-16
申請(qǐng)公布號(hào) CN102315327B 申請(qǐng)公布日 2013-10-16
分類(lèi)號(hào) H01L31/18(2006.01)I;C23C16/44(2006.01)I;C23C16/27(2006.01)I 分類(lèi) 基本電氣元件;
發(fā)明人 張衡 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人 浙江向日葵大健康科技股份有限公司
代理機(jī)構(gòu) 紹興市越興專(zhuān)利事務(wù)所 代理人 張謙
地址 312000 浙江省紹興市越城區(qū)斗門(mén)街道三江東路22號(hào)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明提供一種新單晶硅太陽(yáng)能電池制作方法，屬于單晶硅太陽(yáng)能電池的生產(chǎn)技術(shù)領(lǐng)域，以單晶硅片為原料，包括如下步驟：⑴去除單晶硅片表面的損傷層；⑵擴(kuò)散制pn結(jié)；⑶去邊緣結(jié)，去磷硅玻璃；⑷采用化學(xué)氣相沉積方法制備金剛石薄膜；⑸絲網(wǎng)印刷，燒結(jié)制作電極。本發(fā)明用化學(xué)氣相沉積方法制備金剛石薄膜作為單晶硅太陽(yáng)能電池的減反射織構(gòu)，所得角錐體的粒徑，在0.5～5μm范圍。