一種用于金剛線切割多晶硅片制絨的添加劑及方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201810066561.X 申請日 -
公開（公告）號 CN108330545A 公開（公告）日 2018-07-27
申請公布號 CN108330545A 申請公布日 2018-07-27
分類號 C30B33/10;C30B29/06;H01L31/0236 分類 晶體生長〔3〕;
發(fā)明人 黃燕 申請（專利權(quán)）人 浙江向日葵大健康科技股份有限公司
代理機(jī)構(gòu) 紹興市越興專利事務(wù)所（普通合伙） 代理人 蔣衛(wèi)東
地址 312000 浙江省紹興市袍江工業(yè)區(qū)三江路
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明涉及一種用于金剛線切割多晶硅片制絨的添加劑及方法，由以下組分配制而成：醋酸、三乙醇胺、十二烷基苯磺酸鈉、聚乙二醇、檸檬酸三胺、全氟聚醚、氫氟酸、水；所述醋酸、三乙醇胺、十二烷基苯磺酸鈉、聚乙二醇、檸檬酸三胺、全氟聚醚、氫氟酸、水之間的摩爾比為15~25：10~25：1~10：15~25：1~10：1~10：1~5：20~100。本發(fā)明制絨添加劑可以使硅片腐蝕坑內(nèi)結(jié)構(gòu)更加精細(xì)化，形成更多更小的微腐蝕坑，表面的孔隙率更高，表面腐蝕坑孔洞更為密集，腐蝕坑尺寸減小，且在腐蝕坑的邊緣與底部產(chǎn)生一些小的孔洞結(jié)構(gòu)，大大降低硅片反射率。