一種單晶爐加熱系統(tǒng)的控制方法

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202110453315.1 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN113136620A 公開（公告）日 2021-07-20
申請(qǐng)公布號(hào) CN113136620A 申請(qǐng)公布日 2021-07-20
分類號(hào) C30B15/20;C30B29/06 分類 晶體生長(zhǎng)〔3〕;
發(fā)明人 武絢麗;孫須良;顏玉峰 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 曲靖晶龍電子材料有限公司
代理機(jī)構(gòu) 上海華誠(chéng)知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 徐穎聰
地址 655000 云南省曲靖市曲靖經(jīng)濟(jì)技術(shù)開發(fā)區(qū)光伏一號(hào)路以東、南海大道以南
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明提供一種單晶爐加熱系統(tǒng)的控制方法，包括步驟S1，獲取單晶爐內(nèi)液體的預(yù)定位置處的亮度值；步驟S2，根據(jù)所述亮度值控制所述加熱系統(tǒng)。根據(jù)本發(fā)明實(shí)施例的單晶爐加熱系統(tǒng)的控制方法，無(wú)需SP參與控制，通過單晶爐內(nèi)液體的亮度值來(lái)代替測(cè)溫，避免通過人工判定來(lái)調(diào)節(jié)SP值，不僅能夠?qū)崿F(xiàn)溫度的準(zhǔn)確調(diào)節(jié)，且降低對(duì)工作人員的操作要求，進(jìn)一步提高單晶爐調(diào)溫過程的自動(dòng)化程度以及穩(wěn)溫效果。