一種光刻機(jī)間隙曝光控制裝置
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN202122138240.6 | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開(kāi)（公告）號(hào) | CN215867503U | 公開(kāi)（公告）日 | 2022-02-18 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN215867503U | 申請(qǐng)公布日 | 2022-02-18 |
| 分類號(hào) | G03F7/20（2006.01）I | 分類 | 攝影術(shù)；電影術(shù)；利用了光波以外其他波的類似技術(shù)；電記錄術(shù)；全息攝影術(shù)〔4〕; |
| 發(fā)明人 | 周杰;張琪;符友銀;李俊毅 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 | 安徽睿芯半導(dǎo)體科技有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 合肥律眾知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 | 代理人 | 侯克邦 |
| 地址 | 230000安徽省合肥市蜀山區(qū)望江路西湖國(guó)際C座2324-25室 | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本實(shí)用新型提供一種光刻機(jī)間隙曝光控制裝置，涉及微電子專用設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域，包括工作臺(tái)，所述工作臺(tái)上固定連接有固定架，所述固定架頂部固定連接有電動(dòng)機(jī)，所述電動(dòng)機(jī)輸出端固定連接有螺紋桿，所述螺紋桿下端轉(zhuǎn)動(dòng)插接在工作臺(tái)上，所述螺紋桿上螺紋設(shè)置有升降板，所述承載板固定安裝在升降板上，所述升降板底部固定安裝有物鏡，所述升降板上固定安裝有潤(rùn)滑瓶。本實(shí)用新型中，采用潤(rùn)滑瓶、通孔、海綿，在潤(rùn)滑瓶?jī)?nèi)部的潤(rùn)滑油對(duì)海綿進(jìn)行潤(rùn)濕，然后潤(rùn)滑油通過(guò)通孔，滴落在螺紋桿上，從而能夠?qū)υ撀菁y桿進(jìn)行潤(rùn)滑，使得升降板在升降的過(guò)程中更加的順暢，降低機(jī)械設(shè)備的磨損，避免造成卡死等現(xiàn)象，從而能夠保證升降時(shí)的精度。 |
