一種用于單片式濕法設(shè)備的藥液供給裝置
基本信息
申請?zhí)?/td> | CN202122147736.X | 申請日 | - |
公開(公告)號 | CN215785481U | 公開(公告)日 | 2022-02-11 |
申請公布號 | CN215785481U | 申請公布日 | 2022-02-11 |
分類號 | B08B9/087(2006.01)I;B08B9/08(2006.01)I;B08B13/00(2006.01)I | 分類 | 清潔; |
發(fā)明人 | 周杰;張琪;符友銀;李俊毅 | 申請(專利權(quán))人 | 安徽睿芯半導(dǎo)體科技有限公司 |
代理機構(gòu) | 合肥律眾知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 | 代理人 | 練蘭英 |
地址 | 230000安徽省合肥市蜀山區(qū)望江路西湖國際C座2324-25室 | ||
法律狀態(tài) | - |
摘要
摘要 | 本實用新型涉及藥液試驗技術(shù)領(lǐng)域,具體涉及一種用于單片式濕法設(shè)備的藥液供給裝置,包括倉體以及設(shè)置在其內(nèi)腔的多個可轉(zhuǎn)動的圓軸,所述圓軸的環(huán)壁套設(shè)有清潔組件,且多個所述清潔組件協(xié)同發(fā)揮作用。本實用新型中,倉體內(nèi)的多個圓軸可同步轉(zhuǎn)動,且圓軸上設(shè)置的刷毛可發(fā)生協(xié)同作用,在清潔倉體內(nèi)壁的同時又可以相互清潔,此外,設(shè)置在圓軸上部以及下部的清掃扇條由于與倉體的內(nèi)腔頂面以及內(nèi)腔底面均緊貼,能夠?qū)崿F(xiàn)對倉體內(nèi)壁全方位的清潔,清潔質(zhì)量較高,又因為圓軸的中部設(shè)置有導(dǎo)流板,導(dǎo)流板可將倉體內(nèi)所注入的清潔液卷起形成較強的沖力,從而對倉體進行無死角清潔,清潔效率較高,能夠高效進行不同藥液的傳輸。 |
