一種掩膜版自動傳輸裝置

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202023309924.X 申請日 -
公開（公告）號 CN215478248U 公開（公告）日 2022-01-11
申請公布號 CN215478248U 申請公布日 2022-01-11
分類號 B65G47/91（2006.01）I 分類 輸送；包裝；貯存；搬運薄的或細(xì)絲狀材料;
發(fā)明人 周杰;張琪;李俊毅;符友銀 申請（專利權(quán)）人 安徽睿芯半導(dǎo)體科技有限公司
代理機構(gòu) 杭州君度專利代理事務(wù)所（特殊普通合伙） 代理人 樂俊
地址 230000安徽省合肥市經(jīng)開區(qū)桃花工業(yè)園繁華大道工投立恒工業(yè)廣場B-3-1東
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型公開了一種掩膜版自動傳輸裝置，包括兩個對稱設(shè)置的端板，兩個端板之間分別通過限位桿和螺桿連接，限位桿上滑動套接有滑座，滑座與螺桿螺紋連接，螺桿的端部與安裝在端板上的驅(qū)動電機輸出端連接，滑座的端部連接有安裝板，安裝板遠(yuǎn)離滑座的一側(cè)設(shè)有兩個平行設(shè)置的安裝桿。本實用新型結(jié)構(gòu)簡單，根據(jù)掩膜版的尺寸大小，驅(qū)動齒輪帶動兩個齒條相互遠(yuǎn)離或靠近，從而實現(xiàn)兩個安裝桿間距調(diào)節(jié)，可根據(jù)掩膜版的大小進(jìn)行調(diào)節(jié)，提高其適用性，然后利用電動吸盤吸附掩膜版，實現(xiàn)靈活抓取，并在驅(qū)動電機的驅(qū)動下，螺桿帶動滑座和連接在其上的安裝板移動，實現(xiàn)掩膜版的傳遞，便于掩膜版位置切換。