一種用于光刻機(jī)工藝的自動(dòng)對(duì)焦裝置
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN202122138184.6 | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開(kāi)（公告）號(hào) | CN215769356U | 公開(kāi)（公告）日 | 2022-02-08 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN215769356U | 申請(qǐng)公布日 | 2022-02-08 |
| 分類(lèi)號(hào) | G03F7/20（2006.01）I;H05K3/06（2006.01）I | 分類(lèi) | 攝影術(shù)；電影術(shù)；利用了光波以外其他波的類(lèi)似技術(shù)；電記錄術(shù)；全息攝影術(shù)〔4〕; |
| 發(fā)明人 | 周杰;張琪;符友銀;李俊毅 | 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人 | 安徽睿芯半導(dǎo)體科技有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 合肥律眾知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 | 代理人 | 侯克邦 |
| 地址 | 230000安徽省合肥市蜀山區(qū)望江路西湖國(guó)際C座2324-25室 | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本實(shí)用新型公開(kāi)了一種用于光刻機(jī)工藝的自動(dòng)對(duì)焦裝置，涉及xxx技術(shù)領(lǐng)域。本實(shí)用新型包括旋轉(zhuǎn)底座，設(shè)于旋轉(zhuǎn)底座上的多個(gè)升降桿，以及設(shè)于升降桿上并用于對(duì)PCB板位于光刻機(jī)內(nèi)部進(jìn)行調(diào)節(jié)角度對(duì)焦曝光的調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)；調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)包括設(shè)于升降桿頂端的調(diào)節(jié)組件，以及設(shè)于調(diào)節(jié)組件上并用于固定PCB板的承載板。本通過(guò)調(diào)節(jié)對(duì)不PCB的角度進(jìn)行調(diào)節(jié)進(jìn)行對(duì)焦，同時(shí)可根據(jù)不同類(lèi)型的PCB板進(jìn)行不同角度的調(diào)節(jié)對(duì)焦，即可依次進(jìn)行曝光、收取和放入待曝光的PCB板，提高工作效率。 |
