壓力傳感器的制作方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201110168383.X 申請日 -
公開（公告）號 CN102840939A 公開（公告）日 2012-12-26
申請公布號 CN102840939A 申請公布日 2012-12-26
分類號 G01L1/22(2006.01)I 分類 測量；測試;
發(fā)明人 賈慶鋒 申請（專利權(quán)）人 江蘇恩泰傳感器有限公司
代理機(jī)構(gòu) 上海思微知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 江蘇恩泰傳感器有限公司;賈慶鋒
地址 224051 江蘇省鹽城市鹽黃公路18號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明提出一種壓力傳感器的制作方法，包括：提供覆蓋有膜片的底座，在膜片上印刷多個硅酸鹽模片；對硅酸鹽模片進(jìn)行第一次燒結(jié)，使硅酸鹽模片形成與膜片粘連的硅酸鹽薄片；在硅酸鹽薄片上設(shè)置一個硅應(yīng)變計(jì)或多個相互獨(dú)立的硅應(yīng)變計(jì)；對硅酸鹽薄片進(jìn)行第二次燒結(jié)，使硅應(yīng)變計(jì)部分浸入部分外露于硅酸鹽薄片，并且使硅應(yīng)變計(jì)與膜片絕緣。本發(fā)明提供的壓力傳感器的制作方法，硅酸鹽薄片的熱膨脹系數(shù)與硅應(yīng)變計(jì)的熱膨脹系數(shù)相近，環(huán)境溫度的變化不會導(dǎo)致硅酸鹽薄片與硅應(yīng)變計(jì)之間發(fā)生斷裂，避免了硅應(yīng)變計(jì)由于與膜片不再絕緣而被擊穿。