一種壓力傳感器

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201110168208.0 申請日 -
公開（公告）號 CN102840946A 公開（公告）日 2012-12-26
申請公布號 CN102840946A 申請公布日 2012-12-26
分類號 G01L9/04(2006.01)I 分類 測量；測試;
發(fā)明人 賈慶鋒 申請（專利權）人 江蘇恩泰傳感器有限公司
代理機構 上海思微知識產權代理事務所（普通合伙） 代理人 江蘇恩泰傳感器有限公司;賈慶鋒
地址 224051 江蘇省鹽城市鹽黃公路18號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明提出一種壓力傳感器包括底座，所述底座上覆蓋有膜片，壓力傳感器還包括硅酸鹽薄片以及硅應變計，所述硅酸鹽薄片與所述膜片粘連，所述硅應變計部分浸入部分外露于所述硅酸鹽薄片，并且所述硅應變計與所述膜片絕緣。本發(fā)明提供的壓力傳感器，硅應變計通過硅酸鹽薄片與膜片間接連接，硅酸鹽薄片的熱膨脹系數(shù)與硅應變計的熱膨脹系數(shù)相近，環(huán)境溫度的變化不會導致硅酸鹽薄片與硅應變計之間發(fā)生斷裂，避免了硅應變計由于與硅酸鹽薄片發(fā)生斷裂后，硅應變計與膜片不再絕緣而被擊穿。