硅片切割廢砂漿分離提純方法

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201110006158.6 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN102108317B 公開（公告）日 2012-12-05
申請(qǐng)公布號(hào) CN102108317B 申請(qǐng)公布日 2012-12-05
分類號(hào) C10M175/00(2006.01)I;C01B33/037(2006.01)I;C01B31/36(2006.01)I 分類 石油、煤氣及煉焦工業(yè)；含一氧化碳的工業(yè)氣體；燃料；潤(rùn)滑劑；泥煤;
發(fā)明人 郭銳 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 陜西咸陽(yáng)秦都農(nóng)村商業(yè)銀行股份有限公司
代理機(jī)構(gòu) 西安創(chuàng)知專利事務(wù)所 代理人 譚文琰
地址 712000 陜西省咸陽(yáng)市秦都區(qū)高新區(qū)永昌路2號(hào)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種硅片切割廢砂漿分離提純方法，包括以下步驟：一、廢砂漿固液分離，獲得固體分離物和混合液一；二、PEG分離及回收：對(duì)混合液一依次進(jìn)行三級(jí)過濾、樹脂處理和真空蒸餾后，獲得PEG成品；三、晶體硅粉分離及回收：對(duì)固體分離物進(jìn)行多次沉降分選及固液分離后，再對(duì)所獲得固體過濾物進(jìn)行酸洗、過濾、脫水及烘干處理，獲得晶體硅粉；四、SiC微粉分離及回收：經(jīng)多次沉降分選及固液分離處理后的沉淀層依次進(jìn)行堿洗、固液分離及水洗、酸洗和固液分離、水洗及干燥處理，獲得SiC微粉。本發(fā)明設(shè)計(jì)合理、方法步驟簡(jiǎn)單、操作簡(jiǎn)便、效率高且投入及運(yùn)行成本低、易于規(guī)模化生產(chǎn)，所分離提純的PEG、晶體硅粉和SiC微粉的品質(zhì)優(yōu)良。